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Laserstrukturierung von ITO-Schichten

TCO / ITO Laserbearbeitung

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Laserstrukturierung von ITO-Schichten

Der Laser erzeugt feinste Isolierungen in der unsichtbaren TCO-Schicht (Transparent Conductive Oxide). So entstehen leitfähige, unsichtbare Strukturen < 50µm.

Für TCO-Beschichtungen wird z.B. Indium-Zinnoxid ITO verwendet. Es lässt sich als leitfähige und lichtdurchlässige, sehr dünne Beschichtung auf Glas oder Kunststoff aufbringen. ITO-Glas kommt beispielsweise in der hochwertigen Display- und Touch-Screen-Technologie zum Einsatz.

Die ITO-Beschichtung wird in Sputter-Technik hergestellt. Die elektrischen und die transparenten Eigenschaften hängen u.a. von der präzisen Kontrolle des Sauerstoffgehaltes während des Beschichtungsprozesses und vom Verhältnis von Indium/Zinn ab.

Die TCO-Schicht lässt sich auf unterschiedlichste Substratmaterialien, wie PET (Polyethylentherephthalat, Cellulose- triacetat, PEN (Polyethylennaphthenat), Glas usw. aufbringen.

Die meisten Anwendungsgebiete setzen eine Strukturierung voraus. Auch dafür ist die Lasertechnik die erste Wahl. Hier wendet LaserMicronics ein Verfahren an, das mittels UV Laserstrahlung völlig unsichtbare Isolationen auf den Substratoberflächen erzeugt.

Vorteile der Laserstrukturierung



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